自適應掃描光學顯微鏡2005年，倫瑟勒理工學院自動控制技術和系統中心(CATS)的Ben Potsaid、John Wen和Yves Bellouard開發了一種自適應掃描光學顯微鏡(ASOM)，它基于MEMS變形鏡來校正物鏡的離軸波前像差。成像鏡掃描透鏡的輸入通光孔就可獲得擴大的視場，其潛在的應用包括跟蹤移動的樣品，以及對突發事件成像。

　　這種新型的顯微鏡設計，配合高速物鏡后振鏡式掃描鏡、空間光調制器和掃描透鏡，就會產生具有微米級分辨率和較大有效視場的圖像，因而提供了一種相對經濟的辦法來獲得高質量圖像，而傳統上這只能通過很高分辨率的顯微鏡才能實現。在后來由Thorlabs/RPI小組設計的ASOM中，總的合成視場超過1250 mm2，分辨率為1.5祄

　　在ASOM系統中設計一個遠心掃描透鏡用于獲得具有40mm視場的有限共軛像。透鏡組由七個光學元件組成，后向焦距為19mm，數值孔徑為0.20。一個定制的75mm快速MEMS轉向鏡在3.3mm2的通光孔上分布著140個靜電控制器。科學級CCD相機具有1024 768個像素，柵距為4.7祄。傳統的顯微鏡由于物鏡的限制，其視場相對較小。為了得到大尺寸樣品的高分辨率圖像，物鏡就必須對樣品進行掃描(或者移動顯微鏡，或者移動樣品)。在ASOM中，其掃描機制是一個質量較輕的高速轉向鏡，它可以通過物鏡掃描整個視場。

　　在這種結構中，離軸光線經過物鏡后會發生顯著的波前畸變，一般情況下會導致圖像模糊，但是通過利用一個可實時控制的變形鏡，系統會補償波前畸變，因而能得到具有均勻分辨率的衍射圖像。對樣品掃描后再進行圖像重構就會得到放大的視場。這在生物領域是非常有用的，因為在生物應用中常常需要獲得細胞級的分辨率(約為1祄)，同時還需要保持一個大的視場在厘米尺度上監測總的解剖信息，或者觀測那些可能“游到”視場外的活生物體

　　活體樣本ASOM中的快速掃描鏡代替了許多顯微鏡應用中用到的傳統掃描環節。由于不需要移動樣品，在利用ASOM技術進行活體樣本成像時，可以在檢測的環境中植入傳感器或控制器。ASOM同時還消除了機械平臺的移動，而這種移動會限制掃描速度，并會引發許多活體樣品使用的液體和粘滯介質產生破裂性振動[2]。由于圖像到圖像之間的移動時間小于5ms，使ASOM的移動速度可以達到機械移動顯微鏡的100倍，并且使用高速CCD相機可以使合成圖像的幀傳輸速率達到100幀/秒。高掃描速率的潛在應用包括毒品檢測和大規模篩選等。最初為望遠鏡開發的技術大大提高了顯微鏡的性能，使之具有微米級的分辨率和更廣的有效視場。光學系統設計者們越來越多地使用主動元件，推動著光機電一體化領域的持續快速發展。主動元件包括轉換器和傳感器、主動和自適應光學元件，以及實時微處理控制器等。這種高動態光學儀器的性能和應用潛力，甚至遠遠超出了僅由靜態光學元件構成的儀器的理論極限。

　　就自適應光學而言，天文學是其發展的最初推動力，1953年Horace Babcock建議采用主動光學補償來解決穿過大氣成像的內在挑戰[1]。不同密度的大氣層之間的湍流會產生動態的折射率梯度和隨時間變化的入射光光程。如果不采取任何校正措施，在電磁波的波前上產生的振幅和相位畸變就會導致在形成的圖像上產生閃爍的亮區或暗區，這嚴重地限制了地基望遠鏡的角分辨率。盡管Babcock建議的在一個帶靜電電荷的鏡面上涂上一層油來改變局部油層厚度的方法從來沒有實現過，但他的基本設計思想在現今的許多自適應光學應用中仍在使用。目前，可由計算機控制表面面形的變形鏡被普遍用于校正由大氣湍流引起的波前畸變。

　　由Ben Potsaid和Scott Barry領導的Thorlabs/RPI研究小組設計并構建的ASOM系統包含Nova Phase公司生產的定制掃描透鏡組、一個定制的高速轉向鏡(該轉向鏡是Boston Micromachines公司生產的有140個靜電控制器的MEMS變形鏡)和一個Thorlabs公司的CCD相機。

　　20世紀60年代，自適應光學的早期發展是由國防工業資助的，然而直到80年代，自適應光學才因為改善了地基望遠鏡的性能而在天文學領域找到了用武之地。自適應光學中最基本的設計包括利用波前傳感器(Shack-Hartmann干涉儀或可變剪切干涉儀)進行波前的實時測量和波前校正(變形鏡和液晶空間光調制器)。結合以前發展的技術，目前自適應光學的應用已經擴展到其他領域。