檢測認證人脈交流通訊錄
- SpecEL-2000-VIS from微派克 (Mikropack) 是一款操作便捷的臺式光譜橢偏儀，主要應用于薄膜測量。它具有經濟實用、小巧、便利和擁有便捷的樣品支架以及一鍵化操作等特點。SpecEL-2000-VIS適用于測量平整和半透明的樣品，例如晶圓和玻璃片。
光譜橢偏儀測量光的相位和振幅的相對變化而不是傳統的絕對光強(反射測量法)。因此這項技術不同于參考測量法，可以同時得到多重參數。高速測量保證系統可以在5－15秒內得到樣品厚度，同時也可得到反射系數(n)和吸收率(k)與波長(450-900nm)之間的函數。
SpecEL-2000僅有標準橢偏儀價格的一半，卻包括了一個集成的寬光譜光源，導光器件，起偏器，樣品臺，檢偏器，增強光學元件和微型線陣列CCD光譜儀。整個系統的外形尺寸僅有52×33×24cm，入射光的角度固定在70度。
對于不同的層狀和襯底樣品，SpecEL可以測量的層厚在0.1nm到8um之間，精度達到1nm。隨系統還有一套以32位的Windows平臺操作軟件，它具有強大的功能并能提供各種模型，例如Cauchy，OJL，Tauc-Lorentz，Drude，EMA和不同的振蕩器。這套軟件同時存儲了特定的測試模式，減少了煩瑣的反復測量和重復工作。
可以選擇高分辨率的組件，將照射到樣品上的光斑尺寸從2×4mm縮小到200×400um。還有其他可以選擇的組件，例如2維繪圖附件，參照晶圓和各種按需定制的解決方案。
關于微派克
成立于1995年的德國微派克(Mikropack GmbH)公司，是歐洲領先的儀器以及設備的生產商和供應商。產品主要是用于生物科技，光譜，通信和薄膜應用等方面的光纖和電子機械元件。光纖光譜產品線包括光源，光測量和校準系統。微排克同時還致力于生產用于薄膜測量的產品，如NanoCalc-2000(光譜反射測量儀)，SpecEl-2000(光譜橢偏儀)和PlacCala-2000與ProCess-2000(等離子監測，過程控制系統) 。微派克是英國豪邁國際有限公司的子公司。
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