檢測認證人脈交流通訊錄
- 氮分子激光器的發(fā)射帶在UV波段,主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 擁有橫向和縱向激勵的脈沖氮分子激光器,由于其獨特的性能(波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W),被廣泛應用于微電子領域如光掩模、復雜的集成電路、薄膜電阻的生產(chǎn)、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亞微米量級的元件。此外,還被用于多種感光材料的高效曝光光源。
上海瞬渺光電技術有限公司
李小姐
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