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機(jī)構(gòu)登錄
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檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 氮分子激光器的發(fā)射帶在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。 PLASMA 擁有橫向和縱向激勵(lì)的脈沖氮分子激光器，由于其獨(dú)特的性能（波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W），被廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域如光掩模、復(fù)雜的集成電路、薄膜電阻的生產(chǎn)、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亞微米量級的元件。此外，還被用于多種感光材料的高效曝光光源。
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