檢測認證人脈交流通訊錄
- 對厚度約為1000nm的薄膜半導體表面的氣體吸附引起的電氣傳導度變化進行測定
特長
①可檢測1ppm以下的極低濃度的氣體
②檢測精度非常高，可用于氣體分析裝置
③長期穩定性方面表現優異
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