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檢測認證人脈交流通訊錄

新宇宙式特氣檢測部 PS-7(半導體工廠用) 帶顯示的檢測部

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    • 特點 氣體采樣流量自動控制功能 LCD顯示,現場狀態一目了然 實現小型、輕量化 可簡單地更換傳感器和采樣氣路 帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能 可以設定多樣的維護模式 組合對應熱分解單元與定電位電解式傳感器,能檢測NF3等 實現了用PDA讀取數據 符合CE規格,SEMI規格 型號 PS-7 標準型 附帶轉換器組件型 檢測原理 •定電位電解式、熱絲型半導體式、隔膜電流電池式•熱分解+定電位電解式 采樣方式 泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自動控制) 采樣配管 特氟隆外徑6內徑4mm、配管距離在20m以內 氣體濃度顯示 液晶數字四位顯示(附帶單位)20分割條形圖 報警接點 •氣體報警(1段以及二級) 報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 1段 ALARM1 ALARM2顯示 •流量降低報警 堵塞指示顯示:流量顯示為低速運轉 報警:黃色LED指示燈閃爍 :液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉狀態 •傳感器故障報警/傳感器誤插入報警 報警:黃色LED指示燈閃爍 :液晶畫面 SENS.顯示 •熱分解爐斷線報警 報警:黃色LED指示燈閃爍 :液晶畫面 CONV.顯示 外部輸出 氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA(與電源的負極通用) 氣體報警接點(1段以及兩極) 1a無電壓接點/自動復位 故障報警接點 (開路集電極/自動復位) 適合電纜線 幕電纜線(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用溫度濕度范圍 0℃~40℃(但是不能有劇烈的溫度變化)、30~85%RH(但不能結露) 使用電源 DC24V±10% 消耗電力 約7w 尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物)•W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物) 重量 約1.0kg 安裝方法 壁掛式

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