檢測認證人脈交流通訊錄
新宇宙式特氣檢測部 PS-7（半導體工廠用） 帶顯示的檢測部
- 特點
氣體采樣流量自動控制功能
LCD顯示，現場狀態一目了然
實現小型、輕量化
可簡單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能
可以設定多樣的維護模式
組合對應熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等
實現了用PDA讀取數據
符合CE規格，SEMI規格
型號 PS-7
標準型 附帶轉換器組件型
檢測原理 •定電位電解式、熱絲型半導體式、隔膜電流電池式•熱分解+定電位電解式
采樣方式 泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自動控制）
采樣配管 特氟隆外徑6內徑4mm、配管距離在20m以內
氣體濃度顯示 液晶數字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖
報警接點 •氣體報警（1段以及二級） 報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 1段 ALARM1 ALARM2顯示
•流量降低報警 堵塞指示顯示：流量顯示為低速運轉 報警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉狀態
•傳感器故障報警/傳感器誤插入報警 報警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 SENS.顯示
•熱分解爐斷線報警 報警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 CONV.顯示
外部輸出 氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負極通用） 氣體報警接點（1段以及兩極） 1a無電壓接點/自動復位 故障報警接點 （開路集電極/自動復位）
適合電纜線 幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結露）
使用電源 DC24V±10%
消耗電力 約7w
尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物)•W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物)
重量 約1.0kg
安裝方法 壁掛式
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