檢測認證人脈交流通訊錄
- 直接熱式質量流量計 直接熱式質量流量計控制器
AX10FC直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理,直接用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件,并采用哈氏合金傳感器,V10FC可用于易結晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應用,AX10FC也同樣適用。
AX10FC直接熱式MFC/MFM與其它差壓原理的V10FC一樣,具有三路流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。
產品應用
產品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環保及各種分析,科研院所實驗設備。
產品特點
● 直接熱式原理,無層流元件
● 無壓損,抗結晶,抗腐蝕
● 適用于各種低壓和高壓管道
● 精確測量和控制氣體的質量流量
● 預熱時間短,零漂小,可靠性高
● 多種氣體可選,也可自行輸入
技術參數
技術指標 AX10FC-RC質量流量控制器 AX10FC-RM質量流量控制器
量程范圍 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~2000SLM
控制范圍 控制器20:1 流量計20:1
準 確 度 流量:±3%F.S 壓力:0.5% F.S 溫度:±1℃
線 性 ±0.5%F.S
重復精度 ±0.2%F.S
響應時間 100ms 10ms
數 字 量 RS232/485,MODBUS協議
模 擬 量 0~5V、4~20mA、1~5V
供電 12V/24V/±15V可選
工作溫度 0~50℃
工作壓力 工作壓差:0.03~0.5MPa 工作壓降:<0.01Mpa
最大耐壓 低壓1MPa,中壓3MPa,高壓10MPa
電氣連接 DB15孔
漏 率 1×10-9SccsHe
溫度系數 ±0.015%F.S/℃
底座材質 316L
密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠
接 頭 VCR1/4;swagelokφ6
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