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微小氣體流量計低耐壓型質(zhì)量流量計氣體流量控制器

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微小氣體流量計低耐壓型質(zhì)量流量計氣體流量控制器 AX10FC-L采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標(biāo)準(zhǔn)配置，具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作，可以完成以下內(nèi)容：氣體選擇、單位選擇、量程設(shè)定，報警點(diǎn)設(shè)定，閥門狀態(tài)、自動校準(zhǔn)等。與熱式流量計不同，當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時，V10FC-L沒有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標(biāo)定氣體不同，也不會影響測量精度。產(chǎn)品應(yīng)用產(chǎn)品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導(dǎo)體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析儀器等。產(chǎn)品特點(diǎn) ● 普通低壓型，適于1Mpa以下非腐蝕的清潔氣體 ● 無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年 ● 準(zhǔn)確度0.8%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標(biāo)定 ● 瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出 ● 無需預(yù)熱，測量時無響應(yīng)滯后 ● 內(nèi)置31種氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)，無比熱容附加誤差，不影響精度 ● 自動累計，分段累計功能技術(shù)指標(biāo) AX10FC-LC質(zhì)量流量控制器 AX10FC-LM質(zhì)量流量計量程范圍小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM 控制范圍控制器50：1 流量計100：1 準(zhǔn) 確度流量：±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程可選±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃ 線性 ±0.5%F.S 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 響應(yīng)時間 100ms 10ms 數(shù) 字量 RS232/485，MODBUS協(xié)議模擬量 0～5V、4～20mA、1～5V 供電 12V/24V/±15V可選工作溫度 0～50℃ 工作壓力工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa 最大耐壓 1MPa 電氣連接 DB15孔漏率 1×10-9SccsHe 溫度系數(shù) ±0.015%F.S/℃ 底座材質(zhì) 316L 密封材料氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠接頭 VCR1/4;swagelokφ6

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