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LF-01M液體流量計(jì)

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臺(tái)

用　　途：
本公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等各類高新技術(shù)領(lǐng)域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。

商品簡(jiǎn)介：· 壓電式控制閥· 金屬密封結(jié)構(gòu)· 響應(yīng)時(shí)間快· 設(shè)計(jì)緊湊· 316L/316SS不銹鋼結(jié)構(gòu)· 高精度達(dá)± 1％LF-01M液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)小流量液體進(jìn)行快速、精確控制的領(lǐng)域。其簡(jiǎn)單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨(dú)特的熱式測(cè)量系統(tǒng)提供精確的測(cè)量，同時(shí)液體溫度上升小于5度。高級(jí)的控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可提供對(duì)小流量液體進(jìn)行快速、穩(wěn)定的控制。 P2000i系列同時(shí)也包括有一個(gè)液體質(zhì)量流量計(jì)，用于那些不需要進(jìn)行流量控制的場(chǎng)合。D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)液體快速、精確控制的半導(dǎo)體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可讓響應(yīng)時(shí)間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保（高純度和泄漏完整性）。獨(dú)特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測(cè)量，同時(shí)液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡(jiǎn)單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。液體流量計(jì)和控制器技術(shù)參數(shù)流量范圍：液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來(lái)標(biāo)定的，在測(cè)量其它液體介質(zhì)時(shí)需要乘以一個(gè)校正系數(shù)，具體請(qǐng)參考表一響應(yīng)時(shí)間： P2000i系列： 2s（設(shè)定點(diǎn)的2％之內(nèi) ）D2000i系列：＜1s（流量的5％之內(nèi) ）精度和線性：± 1％滿量程（P2000i系列）；±1％讀數(shù)（D2000i系列）重復(fù)性： P2000i系列：＜±0.2％滿量程（任意連續(xù)溫度下）D2000i系列：＜±0.2％讀數(shù)量程比： P2000i系列：50：1（2％-100％滿量程）D2000i系列：20：1（5％-100％滿量程）最大操作溫度： 40℃（104℉）最大操作壓力： 125PSIG溫度系數(shù) ：＜ 0.1％/℃>設(shè)定點(diǎn)輸入 /流量輸出信號(hào) ： 0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號(hào)時(shí)：需最小2KΩ電阻）供電電源：﹢ 15VDC±10％（電流消耗＜200mADC時(shí)）泄露率： 1х10 -9 atm.cc/s He預(yù)熱時(shí)間： 10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）電氣連接： 9針D型入口 /出口過(guò)程連接： 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok控制閥：壓電式常開(kāi)內(nèi)置容積：＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）重量：≤ 0.68Kg結(jié)構(gòu)材質(zhì)主體： 316LSS傳感器組件： 316LSS閥構(gòu)成部件： 316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列）“ O”型環(huán)：316LSS表一 IPA 流量范圍（CCM）液體介質(zhì) 校正系數(shù) 0.003-0.14 0.008-0.40 0.020-1.00 0.070-3.50 0.150-7.50 0.220-11.0 CupraSelect 1.164 己烷 1.492 辛烷 1.532 OMCTS 1.927 TDEAT 1.258 TMP 1.357 四乙基原硅酸鹽 1.156 TMB 1.413 水 0.492 訂貨時(shí)須提供：1、產(chǎn)品型號(hào)2、設(shè)定點(diǎn)輸入/流量信號(hào)輸出3、接口尺寸和類型4、流量范圍5、介質(zhì)（液體類型）6、工作溫度7、入口壓力P18、出口壓力P2（流量計(jì)無(wú)須提供）9、其它要求

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