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氣體質量流量計/控制器

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  • 品  牌:
  • 主要規格:
  • 標準量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM;0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM;
  • 用  途:
  • 本公司產品廣泛應用于工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫藥、標準檢測等各類高新技術領域,為客戶提供各種氣體管道輸送系統的全面服務。深受廣大客戶的肯定及認同。
    • 型號:LF 測量范圍:0-10(m3/h) 公稱通徑:3,6,8,10(mm) 適用介質:全部純潔的氣體 工作壓力:0.05-0.3(MPa) Model:氣體質量流量計/氣體質量流量控制器 Feature:產品名稱:氣體質量流量控制器(MFC/MFM) 標準量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM; 0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM; 準精度:±1%F.S;   重復精度:±0.2%F.S 響應時間:電特性 <10sec 氣特性<1~4sec 線性:±(0.5~1)%F.S   工作壓差范圍:0.05~0.3MPa 耐壓:3,10MPa;   工作環境溫度:5~65℃ 輸入輸出信號電壓:0~+5.00V 電源:+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA) 電連接器:D14pin 外形尺寸:130*28*121mm 重量:約1.0kg 接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....           VCR接頭:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........ 氣體質量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。
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    張先生

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