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快速退火爐RTP（保護氣氛熱處理爐） Heatpulse allwin21 AG 610
- 快速退火爐RTP（保護氣氛熱處理爐） Heatpulse allwin21 AG 610
本公司的快速退火爐 RTP（保護氣氛熱處理爐） Allwin21 AG 610 是AG公司的第二代產品，因其優良的溫度控制性能、低廉的價格，目前仍受到半導體器件研制開發機構及生產廠家的鐘愛，廣泛地應用于半導體器件研發及生產等領域。
■ 優越的工藝控制：
• 單片，閉環溫度控制；
• 精確的溫度控制部件可適用于特殊工藝要求；
• 快速升溫與降溫控制；
• 工藝重復性高。
■ 工藝用途：
• 離子注入后快速退火；
• 歐姆接觸快速合金；
• 硅化物合金退火；
• 氧化物生長；
• 其它快速熱處理工藝。
■ 同一般管式高溫爐的比較：
• 一般管式高溫爐只能設定一個工藝條件（即一個溫度條件）；工藝周期長，使用不夠靈活；須24小時加電恒溫，能耗較高，不適用于生產。
• AG610系列快速退火爐，可以設定多個工藝條件（即多種溫度條件）；工藝時間短，使用非常靈活；能耗低；同一臺設備既可用于生產，也可用作科研，且任何科研工藝條件不會對生產工藝造成影響。
本公司是一家總部設在美國硅谷的專業半導體設備與技術服務公司。我公司可提供全新或翻新的Allwin21 AG 610 快速退火系統及其備品備件，專業 的技術團隊、嚴格的 質量檢驗系統，和 快速及時良好的售后服務，已使我公司在客戶中取得良好的信譽。
本公司經營全新的、翻新的快速退火爐Allwin21 RTP（保護氣氛熱處理爐）Heatpulse AG610 、/2010/1034探針臺;HP4062/HP4145測試儀;AW-PCM測試軟件；探針臺Wentworth MP 2020；PECVD等離子增強化學氣相淀積系統 STS 310 PECVD_allwin21.
公司在北京、南京、廣東等地設有辦事機構，致力于為客戶提供完善的服務與支持。
(Email: peterchen@allwin21.com http://www.allwin21.com )
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