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勻膠旋涂?jī)x

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
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  • 用　　途：
    • 　　勻膠旋涂?jī)x 　　在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會(huì)影響成膜厚度，旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性對(duì)成膜質(zhì)量也有較大影響。 　　樣品尺寸：φ3~300mm 　　加速度：80000rpm/s（空載），30000rpm/s（負(fù)載：100mm標(biāo)準(zhǔn)晶圓） 　　轉(zhuǎn)速：1~12000rpm，伺服電機(jī)分辨率4000P/rev 　　旋轉(zhuǎn)方向：選配Hz型馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào) 　　CDA/N2氣流保護(hù)技術(shù) 　　可選自動(dòng)滴膠模塊，EBR晶圓去邊模塊 　　多種托盤可選，適用各種材質(zhì)的樣品 　　勻膠旋涂?jī)x托盤解決方案 　　常用真空托盤：10~150mm無需更換。 　　嵌入式：托盤中部做成圓形凹槽，樣品可嵌入其中，以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應(yīng)。 　　蜂窩式：適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料。 　　卡式托盤：適用于無法真空吸附的樣品，或者兩面都需要處理的樣品，因?yàn)楣潭〞r(shí)需要盡量減小與托盤的接觸面積，也可以使用卡式托盤，卡式托盤使用時(shí)轉(zhuǎn)速不宜過高。 　　https://www.chem17.com/st593869/erlist_2469329.html 　　https://www.chem17.com/st593869/product_37926054.html

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