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機構(gòu)登錄
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檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 概要 HORIBA STEC VC-1310汽化器 由于是無載體類型，所以可以構(gòu)筑小型氣化系統(tǒng) 由于通過質(zhì)量流量來測定發(fā)生量，所以可以不必受到溫度?9?9壓力的影響進行液體材料的氣化供給。 特征 小型 ： 只有原來的1/5 高速完全氣化 ： 可以瞬間完全氣化被供應(yīng)的液體。 安裝固定方向自由 ：任意固定方向，都可以保持相應(yīng)功能。 不需要氣泡式容器、氣化容器 規(guī)格 VC-1310 產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時) 不滿1.0 CCM (液相的換算) ※1 對象液體種類 會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 可升溫溫度 最大值.150℃ 接氣部材質(zhì) SUS-316L (PTFE) 耐壓 1.0MPa(G) VC-1310 產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時) 最大值.5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1 對象液體種類 會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 或升溫溫度 最大值.150℃ 接氣部材質(zhì) SUS-316L (PTFE) 耐壓 1.0MPa(G)
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