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HORIBA STEC MV-2000液體流量汽化器

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品　　牌：
日本HORIBA

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出廠價：
0

主要規(guī)格：
STEC MV-2000

用　　途：
精確計測和控制

HORIBA STEC MV-2000液體流量汽化器 Model MV-2000 Liquid Material All liquids except those corrosive to stainless steel(ex. HCl, HF) Setting Temperature By vaporization conditions(Control Valve : Max 140 ?C Vaporizer : Max 200 ?C) Leak Integrity ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) Internal leak standard ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He) Wetted parts SUS316L , PFA Temperature Sensor Thermocouple type K (CA) Pressure Resistance 1MPa (G) Standard Fitting Liquid inlet: 1/8 VCR type Male Carrier gas inlet: 1/4 VCR type Female Gas outlet: 1/2 VCR type Male Operating Temperature 15 - 50 ?C Option Air valve(Internal leak standard: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) ) HORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的閥門類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet?，以及PROFIBUS?，RS485，cc-link，(取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至更大流量。 HORIBA STEC質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等 *1 Devicenet是一種通訊方式的標志。 *2 PROFIBUS是一種國際化的通訊方式標志。提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質量流量控制器。高精度，快速響應，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，低成本：產品系列中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60 用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM（以N2為標準）應用領域化工/石化/石油/天然氣　　生物反應/生命科學　　食品飲料 LED FPD 　　冶金　　電力能源及水處理　　造紙　　環(huán)境保護及控制　　汽車　　半導體/光伏　　微電子

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