檢測認證人脈交流通訊錄
LASERTEC 膜厚不均勻檢查裝置 MR300
- 主要規格：
- 高解像光學系により、イメージセンサの品質を左右する微小な表面形狀変化を検出可能 下地の影響を受けにくいため、表面層の情報を正確に取得可能 In Line における全數検査が可能
- 用 途：
- レジスト、カラーフィルタおよび各種デポ膜の膜厚不均一性検査 マイクロレンズの形狀変化検査 裏面照射型CMOSイメージセンサの裏面薄化プロセスにおける表面形狀検査 微小欠陥、異物、スクラッチ等の検査
- 特長
高解像光學系により、イメージセンサの品質を左右する微小な表面形狀変化を検出可能
下地の影響を受けにくいため、表面層の情報を正確に取得可能
In Line における全數検査が可能
用途
レジスト、カラーフィルタおよび各種デポ膜の膜厚不均一性検査 マイクロレンズの形狀変化検査
裏面照射型CMOSイメージセンサの裏面薄化プロセスにおける表面形狀検査
微小欠陥、異物、スクラッチ等の検査
仕様
対応基板サイズ
φ200mm、300mm ウェハ
解像度
50μｍ/pixel
スループット
70WPH（300mmウェハ）
深圳京都玉崎株式會社
- 地址：
- 江蘇蘇州市高新區竹園路7號中梁香緹商務廣場2棟1201室
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