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檢測認證人脈交流通訊錄

LASERTEC 光掩模缺陷檢測系統 MATRICS X700 HiT系列

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  • 品　　牌：
  • LASERTEC
  • 主要規格：
  • デザインノード28nmの半導體デバイス用フォトマスクに対応可能 マスク検査時間を従來比で40%削減 獨自開発の全固體213nmQCWレーザー光源を搭載 OHT(Overhead Hoist Transport)と連動した全自動検査が可
  • 用　　途：
  • フォトマスク製造工程における出荷前検査 ウェハファブにおけるフォトマスクの受入検査、および定期的な品質確認検査
    • 特長 デザインノード28nmの半導體デバイス用フォトマスクに対応可能 マスク検査時間を従來比で40%削減 獨自開発の全固體213nmQCWレーザー光源を搭載 OHT(Overhead Hoist Transport)と連動した全自動検査が可能 電源?制御系統を本體に內蔵したオ―ルインワン設計により、コンパクト化 用途 フォトマスク製造工程における出荷前検査 ウェハファブにおけるフォトマスクの受入検査、および定期的な品質確認検査 仕様 検査方式 マルチダイモード、シングルダイモード 検査光 透過光、反射/透過光 検出感度 最高感度25 nm　※検出感度は、欠陥種別?検査方式により異なります 検査時間 65分 / 100mm2 マスクサイズ 6インチ

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