檢測認證人脈交流通訊錄
LASERTEC sicwen缺陷檢查/評論裝置 SICA6X
- 主要規格：
- SiCウェハに最適なコンフォーカル光學系＋微分干渉の採用 ピット、スタッキングフォルト、キャロットなど結晶欠陥を高感度に検出 裏面反射光に影響されない安定した欠陥検査 高解像度レビュー機能 欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能 オートローダー標準裝備
- 用 途：
- SiCウェハ、エピウェハの出荷?受入検査 SiCエピタキシャル成長プロセスの管理 SiC研磨プロセスの管理 SiCデバイス製造プロセスの管理、キャロットなど結晶欠陥を高感度に検出 裏面反射光に影響されない安定した欠陥検査 高解像度レビュー機能 欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能 オートローダー標準裝備
- 特長
SiCウェハに最適なコンフォーカル光學系＋微分干渉の採用
ピット、スタッキングフォルト、キャロットなど結晶欠陥を高感度に検出
裏面反射光に影響されない安定した欠陥検査
高解像度レビュー機能
欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能
オートローダー標準裝備
用途
SiCウェハ、エピウェハの出荷?受入検査
SiCエピタキシャル成長プロセスの管理
SiC研磨プロセスの管理
SiCデバイス製造プロセスの管理
仕様
裝置サイズ
2,000mm（W） × 1,700mm（D） × 2,000mm（H）
※裝置本體、検査部ラック、オペレーションデスクを含む）
対応基板サイズ
最大φ6インチ
検査対象ウェハ
バルクSiC、エピ膜付SiC
スループット
20枚（φ3インチ） / 時間
深圳京都玉崎株式會社
- 地址：
- 江蘇蘇州市高新區竹園路7號中梁香緹商務廣場2棟1201室
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