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MEMS光柵驅動之功率放大器應用

http://m.9999966666.com 來源:https://www.aigtek.com/NewsDetails.aspx?aid=1145 時間:2020-12-02

公益100大型公益質量活動
MEMS(微機電系統)是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。Aigtek功率放大器可來驅動各種MEMS系統器件,常見的產品有 MEMS 麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS 光學傳感器、MEMS 壓力傳感器等等。 MEMS 光柵應用測試: MEMS 光柵采用了硅微加工工藝技術,在外力作用下使光柵的某些特征參數(如周期、光柵等常數)發生改變,從而實時改變光柵的工作性能,實現光柵的可編程應用。MEMS 光柵具有多種驅動方式,而靜電驅動的 MEMS 光柵,由于其工藝易于實現、耗能低、頻率響應高,因此是最常用的驅動方式。 靜電驅動的能量密度較小,當結構需要比較大的工作位移(微米級),就必須增大驅動電壓,驅動電壓甚至達到上百伏。Aigtek功率放大器可輸出200Vpp~1600Vpp 的電壓范圍,40mA~500mA 的電流輸出能力,是可以滿足新型的 MEMS 相關應用的動態驅動測試。MEMS光柵基于其獨特的優勢,MEMS 光柵已經用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。 ATA-2000 系列功率放大器,可以輸出理想的單端及差分信號,為 MEMS 領域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器,設計了良好的過壓,過流,短路保護裝置,同時為了更好的為 MEMS 測試客戶應用,提供的完善的阻抗匹配網絡,方便用戶選擇對應的匹配阻抗。 ATA-2042功率放大器是Aigtek公司生產的寬頻雙通道高壓電源產品,電壓范圍(0-400Vpp),具有穩定的輸出電壓、電流、雙通道同步輸出等特點,同時具有過流、過溫保護功能。適用于驅動高壓型負載,可放大交、直流信號,輸出電流100mA,電壓增益數控0~60倍可調,液晶屏幕顯示,一鍵保存常用設置,可與任意品牌信號發生器配套使用,實現任意波形信號的完美放大。

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