2026年07月31日 星期五
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設(shè)備具有世界最高水平的高精度，高速度，高分辨率。全面測(cè)量物體的表面形狀。采用了光柵結(jié)合激光干涉的檢出器，使機(jī)器的分辨率達(dá)到0．31nm。結(jié)合各類高精密探針（球形尖端探針半徑0.002mm、0.00...
四川成都
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主要技術(shù)指標(biāo)：1)系統(tǒng)極限真空：經(jīng)24小時(shí)燒烤，連續(xù)抽氣，可達(dá)3*10^-5Pa,系統(tǒng)由大氣后開始抽氣，40分鐘可達(dá)3*10^-4Pa；2)系統(tǒng)漏率：停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度=<10Pa;3)樣品加熱溫度：室...
四川
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