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微機械加速度計MS9010.D

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MEMS加速度計MS9010 Colibrys MS9010系列是一個電容式MEMS加速度計，它是由一個立體微加工工藝支撐的硅元件，一個低功耗ASIC專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產(chǎn)品是一個低功耗的、校準(zhǔn)的、功能強大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品，其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。應(yīng)用范圍：特點： • 振動測量 • 地震測量 • 機器人技術(shù) • 碰撞檢測 • 數(shù)據(jù)記錄儀 • 鉆探 • 傾斜測量運輸 • 優(yōu)異的偏差穩(wěn)定性 • 環(huán)境性能好 • 集成溫度傳感器 • 低成本、低電壓模擬輸出性能參數(shù)：工作特性量程 ±10 g 封裝 LCC20 8.9mm×8.9mm 偏差標(biāo)定 <50 mg 48h偏差穩(wěn)定性 [1] 0.25 mg 年偏差穩(wěn)定性[2] 1.5 (<5) mg 上/掉電重復(fù)性 <0.75 mg 偏差溫度系數(shù)[3] 0.5 mg/℃ ±2 mg/℃ 比例因子，靈敏度（K1） 200±2 mV/g 年比例因子穩(wěn)定性 300 (< 1000) ppm 比例因子溫度系數(shù) 100 ppm/℃ -50 / 250 （最小/最大值）輸入軸向誤差（Kp,Ko） <10 mrad(最大值) 1 %(最大值) 分辨率/閾值 (@ 1Hz) < 0.6 mg(最大值) 非線性度 <0.9 % FS（最大值） <0.09 g(最大值) 帶寬[4 ] 0~≥100 Hz 白噪聲頻譜密度 18 µV/ hz½ 24 最大值共振頻率 3.7 kHz 環(huán) 境特性運行溫度 -55°C to +125°C 極限溫度 -67℉~255℉ 可靠性 MIL-HDBK-217，等級二抗沖擊 10,000g(0.2ms,1/2 sin,沖擊作用于每一軸 o,p,i) 恢復(fù)時間 <1ms(1000g, 1/2 sin 1ms,沖擊作用于 i軸) 振動 20g rms,20~2000Hz (隨機噪聲，o ,p,i每軸作用 30分鐘 ) LCC封裝符合 MIL-STD-833-E ESD靈敏度二級（符合 MIL-STD-883-E，方法一3015.7）注： - LCC應(yīng)牢固固定在 PCB上，使用封裝底部作為軸向?qū)?zhǔn)的參考面。電氣特性輸入電壓（VDD_VSS） 2.5~5.5 VDC.標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)電壓為5.0VDC。輸出電壓范圍 0.5~4.5 VDC @ 5.0 VDC輸入電壓（ 0 g時為 2.5V±10mV）運行電流消耗 <400 µA @ 5.0 VDC 初始化及復(fù)位電流消耗 1400 µA @ 5.0 VDC，初始化階段（室溫下小于35 ms）復(fù)位本傳感器具有過電保護(hù)功能。當(dāng)供電電源以 >380V/s的斜坡增大高于+0.46V時；或供電電源降至低于 2.2V時，傳感器自動重啟?；謴?fù)時間典型值為25ms（最大值35ms）。輸出電阻/負(fù)載最低 10kΩ,在 Vout (pin 32)和 VAGND(pin 38)最高 50pF,在 Vout(pin 32)；和最大 100 µF，在 VAGND(pin 38) 溫度特性 20℃時的輸出電壓 1.632 V 靈敏度 -11.77mV/℃ 長期穩(wěn)定性 -0.03℃~+0.09℃ (1000h @ 150℃) 精度 ±5℃（-40℃~+125℃）物理特性重量 <1.5g 尺寸典型值：8.9×8.9×3.23 mm （0.35×0.35×0.127英寸）最大值：9.2×9.2×3.5 mm （0.354×0.354×0.138 英寸）除非另有說明，所有參數(shù)值在±20℃（±68℉）及 5.0VDC條件下測得。 [1]：按照IEEE 1293-1998 12.3.8的規(guī)定在20℃時測量48小時；測量前穩(wěn)定1小時。 [2]：1年穩(wěn)定性根據(jù)IEEE 528-2001定義為：上電/上電，存儲于-55℃和85℃，在-40℃~125℃之間T循環(huán)，-55℃~85℃掉電干擾、振動和沖擊。 [3]: 溫度系數(shù)指在-40~20℃范圍內(nèi)，在此范圍內(nèi)輸出表現(xiàn)典型值呈線性。 [4]：帶寬定義為靈敏度降低小于3dB的頻率范圍。

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朱文強

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