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檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄

FB7008型輔助增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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    • 本實(shí)驗(yàn)裝置主要由真空系統(tǒng)、微波激勵(lì)系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、基片溫控加熱系統(tǒng)以及循環(huán)水冷卻系統(tǒng)等組成。微波源產(chǎn)生2.45GHz的微波,沿著波導(dǎo)管傳輸,經(jīng)環(huán)行器、四釘阻抗調(diào)配器等裝置,到達(dá)諧振腔反應(yīng)室,氣體在微波的激勵(lì)下,獲得很大的能量,在反應(yīng)室的工作平臺(tái)處,形成球狀的等離子體。本裝置適合高校近代物理、材料物理等專業(yè)作為等離子體研究與技術(shù)應(yīng)用方面實(shí)驗(yàn)。 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容: ●HFPCVD法在基片上制備各種功能薄膜材料; ●MWPCVD法多壁碳納米管陣列的化學(xué)氣相沉積制備; ●浮動(dòng)催化裂解法制備單壁碳納米管; ●PECVD制備一維納米結(jié)構(gòu); ●MWP化學(xué)合成。 技術(shù)參數(shù): ●微波源功率: 0~900W,連續(xù)可調(diào); ●真空系統(tǒng):機(jī)械式真空泵,交流市電 220V,抽速:2L/s極限氣壓:≤0.6Pa; ●供氣系統(tǒng):四路獨(dú)立供氣管路,一路載氣,流量分別由轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制; ●封閉式內(nèi)循環(huán)水冷溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng),連續(xù)工作系統(tǒng)溫度≤30℃ ; ●微波傳輸及微波諧振腔:配有環(huán)行器、水負(fù)載、四釘阻抗調(diào)配器,短路活塞,保證微波源安全工作。微波反射檢波測(cè)量系統(tǒng),保證等離子體充分吸收微波的能量; ●反應(yīng)室工作氣壓:幾帕~十千帕。反應(yīng)室由石英玻璃制作:直徑φ44mm; ●基片溫度范圍:200~1050℃,用熱電偶測(cè)溫,采用PID控溫。 ●實(shí)驗(yàn)結(jié)束,將硅襯底,通過掃描電子顯微鏡(SEM)(用戶自備)觀察襯底表面可以發(fā)現(xiàn)網(wǎng)格狀的BN納米棒。

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