檢測認證人脈交流通訊錄
FB7008D型多功能等離子體實驗儀（濺射鍍膜等離子裝置）
- 本裝置由本公司與浙江大學共同研制。
鍍膜原理為真空濺射離子、電子飛速運動，放電離子飛速轟擊機臺靶面，濺擊大量（銀、銅等）介質，原子逐步沉積到基片襯底表面成膜。
實驗內容：
●不同金屬材料薄膜制備；
●利用空陰極放電制備了CU和Ag涂層研究空陰極對薄膜結構；
●在光學材料上薄膜的制備及特性的測量的影響；
●研究離子轟擊對膜性質的影響。
技術參數：
●真空系統：旋片式真空泵，單相220V；
●工作氣壓：10~200Pa；
●工作電壓：0~1500V可調，工作電流0~200mA可測量；
●基臺加熱控溫系統室溫200度；
●濺射鍍膜鐘罩直徑140mm，高度150mm；
●基臺可升降，可調范圍：10~50mm；
●儀器配有鍍膜片，另配顯微鏡、清洗機。
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