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杭州精科儀器有限公司

檢測認證人脈交流通訊錄

FB7008D型多功能等離子體實驗儀(濺射鍍膜等離子裝置)

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    • 本裝置由本公司與浙江大學共同研制。 鍍膜原理為真空濺射離子、電子飛速運動,放電離子飛速轟擊機臺靶面,濺擊大量(銀、銅等)介質,原子逐步沉積到基片襯底表面成膜。 實驗內容: ●不同金屬材料薄膜制備; ●利用空陰極放電制備了CU和Ag涂層研究空陰極對薄膜結構; ●在光學材料上薄膜的制備及特性的測量的影響; ●研究離子轟擊對膜性質的影響。 技術參數: ●真空系統:旋片式真空泵,單相220V; ●工作氣壓:10~200Pa; ●工作電壓:0~1500V可調,工作電流0~200mA可測量; ●基臺加熱控溫系統室溫200度; ●濺射鍍膜鐘罩直徑140mm,高度150mm; ●基臺可升降,可調范圍:10~50mm; ●儀器配有鍍膜片,另配顯微鏡、清洗機。

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