檢測認證人脈交流通訊錄
- 本實驗由直流高壓電源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、輝光放電管、真空鍍膜鐘罩等部件組成。 實驗內(nèi)容： 可測定探極伏安特性、電子密度、電子溫度、電子平均動能、空間電位分布等多種特性參數(shù)；了解真空濺射鍍膜的原理及基本方法。 技術(shù)參數(shù)： ●真空系統(tǒng)：采用旋片式真空泵，單相220V，抽氣速率：2升/秒極限真空：6×10-1Pa。 ●熱偶真空計測量系統(tǒng)測量真空度和檢測系統(tǒng)氣體樣品氣壓，系統(tǒng)采用金屬與O型橡膠密封圈密封。 ●直流高壓電源：0~2000V連續(xù)可調(diào)；放電電流10-6~0.5A可測； ●輝光放電管陽極端有三個探針，可以用單探極法、雙探極法、補償法等進行測量； ●工作氣壓：10~200Pa可調(diào)； ●放電管內(nèi)徑φ40×400mm； ●真空濺射鍍膜實驗和輝光放電等離子特性測試實驗通過按鈕開關(guān)切換； ●本儀器設(shè)置了漏電保護裝置； ●儀器配有鍍鏌片，另配顯微鏡。
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