檢測認證人脈交流通訊錄
FB7008A型多功能等離子體實驗儀（直流輝光放電、濺射鍍鏌）
- 本實驗由直流高壓電源、真空系統、供氣系統、輝光放電管、真空鍍膜鐘罩等部件組成。
實驗內容：
可測定探極伏安特性、電子密度、電子溫度、電子平均動能、空間電位分布等多種特性參數；了解真空濺射鍍膜的原理及基本方法。
技術參數：
●真空系統：采用旋片式真空泵，單相220V，抽氣速率：2升/秒極限真空：6×10-1Pa。
●熱偶真空計測量系統測量真空度和檢測系統氣體樣品氣壓，系統采用金屬與O型橡膠密封圈密封。
●直流高壓電源：0~2000V連續可調；放電電流10-6~0.5A可測；
●輝光放電管陽極端有三個探針，可以用單探極法、雙探極法、補償法等進行測量；
●工作氣壓：10~200Pa可調；
●放電管內徑φ40×400mm；
●真空濺射鍍膜實驗和輝光放電等離子特性測試實驗通過按鈕開關切換；
●本儀器設置了漏電保護裝置；
●儀器配有鍍鏌片，另配顯微鏡。
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