檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
Measuring Range
量測行程:X300xY300xZ150mm
X300xY300xZ150毫米
XY Accuracy
XY軸精度:U2 =2.6+L/1750μm (L=Measuring Range)
U2=2.6+L/1750微米(L=量測距離)
Z Accuracy
Z軸精度:U1 =3.0+L/150μm (L=Measuring Range)
U1 =3.0+L/150微米(L=量測距離)
Resolution
光學(xué)尺分辨率:0.4μm,Display 0.1um
0.4微米,顯示0.1微米
Velocity
移動速度:500mm/s
500毫米/秒
XY Acceleration
XY軸加速度:250mm/s2
250毫米/秒2
Z Acceleration
Z軸加速度:100mm/s2
100毫米/秒2
Stage material
床臺材質(zhì):Granite
花崗巖
Optic/Magnification
光學(xué)鏡頭/倍率范圍:6.5:1 Programmable Zoom Lens/ 20x-250x
6.5:1可程序無段變倍鏡頭/ 20-250倍
Weight capacity
承載重量:50kg
50公斤
Overall Dimension
外觀尺寸:1090xW865xH990mm
長1090寬865高990毫米
Overall Weight
機(jī)臺重量:125kg
125公斤
Environmental
環(huán)境要求:20±2°C Temperature, 30-80% Humidity
溫度20±2°C,濕度30-80%


