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FS400微型氣體質(zhì)量流量計(jì)

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  • 45
  • 用  途:
  • FS400微型氣體質(zhì)量流量計(jì)
    • 產(chǎn)品概述: FS4000是采用世界領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等) FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍最大到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。 FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍最大到50SLPM;可用于設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等 產(chǎn)品特點(diǎn): - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì) - 支持多種連接方式,易于安裝與使用 - 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量 - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高 - 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓 - 零點(diǎn)穩(wěn)定度高 - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性 - 低功耗、低壓損 - 響應(yīng)速度快 機(jī)械尺寸: 產(chǎn)品特點(diǎn): 性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位 通 徑 3 8 mm 最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 量程比 100:1 精 度 ±(1.5+0.2FS) % 重復(fù)性 0.75 % 零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV 輸出飄移 0.12 %/oC 響應(yīng)時(shí)間 100 ms 工作電源 8~18Vdc,100mA 輸出方式 線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大流量壓損 100 600 pa 最大工作壓力 0.5 MPa 工作溫度 -10 ~ +55 oC 存儲(chǔ)溫度 -20 ~ +65 oC 工作濕度 <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露) 機(jī)械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 校準(zhǔn)方式 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa 重量 57(帶R1/4,BSPT1/4接口) 71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭) g

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