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國(guó)家有色金屬及電子材料分析測(cè)試中心

檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄

多晶硅檢測(cè)

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    • 國(guó)家有色金屬及電子材料分析測(cè)試中心從事硅和化合物半導(dǎo)體材料檢測(cè)，可一次完成硅片厚度、總厚度變化、平整度、局部平整度、翹曲度、類型、電阻率的測(cè)試和分類，并可作圖；可進(jìn)行硅拋光片和外延片的表面質(zhì)量分析檢測(cè)，包括顆粒尺寸及數(shù)量的分類；劃傷、桔皮、凹坑等表面質(zhì)量的檢查；利用X射線熒光光譜方法對(duì)硅拋光片和外延片的表面金屬進(jìn)行非破壞性檢測(cè)；紅外氧碳測(cè)試儀是用紅外吸收法分別測(cè)定硅單晶中的間隙氧和替位碳含量，并可計(jì)算外延片的外延層厚度。 中心擁有美國(guó)Thermo Fisher公司最新型號(hào)的Element GD輝光放電質(zhì)譜儀(GDMS)，適用于金屬中ppb級(jí)及其以上含量的雜質(zhì)分析，可以檢測(cè)5N、6N高純鋁、銅、鋅、鎳、鈷、多晶硅中的痕量和超痕量雜質(zhì)元素。
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    王玉俠

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