檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
Nanofocus μSurf (白光共軛焦輪廓儀)
- 產(chǎn)品類型:白光、共軛焦、非接觸
μSurf結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,精確量測(cè)物體高度
由于使用了共軛焦的方法,在測(cè)量漸變較大的高度時(shí),跟其他同類公司產(chǎn)品使用較多的干涉法相比,可以精確量測(cè)物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。
應(yīng)用
μSurf用來(lái)測(cè)量表面物理形貌,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。其測(cè)量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本。
精密部件:檢測(cè)對(duì)表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件,比如發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸;
生命科學(xué):測(cè)量stents支架上鍍層厚度等
微電子機(jī)械系統(tǒng):微型器件的檢測(cè),醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測(cè),如基因芯片等
半導(dǎo)體: 檢測(cè)微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
技術(shù)參數(shù)
Measuring head CX CI
Image acquistion module BM 512 Digital camera with progressive-
scan technology, up to 25fps,
512 x 512 Pixel, 8bit, Firewire Fast digital camera with progressive-
scan technology, up to 58fps,
512 x 512 Pixel, 12 Bit, Firewirs
light source, adjustable Halogen light source
(LS 100) Powerfull-Xe-light source
(LX 100, LX 180)
Scan modules
x, y-axis module MS 50 Precision x, y-table, 50 x 50mm, resolution 0.1μm
z-axis module ZM 100 Precision scanning module, range 100mm, resolution 0.1μm
z-axis module NV 350 - Fast precision scanning module (Piezo),
measuring range 350μm, resolution < 1nm
Optic modules1) 1600 S 800 L / S / XS 320 L / S / XS 160 L / S
Measurement area (x/y)(um)2
(XY測(cè)量范圍) 1600 x 1600 800 x 800 320 x 320 160 x 160
Numerical aperture
(NA值) 0.3 0.4 / 0.46 / 0.6 0.5 / 0.8 / 0.95 0.8 / 0.95
Working distance(mm)
Z方向測(cè)量范圍 10.1 12 / 3.1 / 0.9 10.6 / 0.66 / 0.3 3.4 / 0.31
Resolution in z-direction(nm)CX
(Z方向范圍分辨率) CI2) 50
20 35 / 30 / -
6 / 5 / 4 25 / 15 / -
4 / 2 / 2 -
2 / 1
Resolution in x,y-direction
(XY分辨率) 2.9 1.5 0.6 0.31
1) L : long working distance, S : normal working distance, XS : short working distance, 2) noise level (only with NV350)
上海巨納科技有限公司
丁經(jīng)理
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