檢測認證人脈交流通訊錄
- X軸 測量范圍 50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000 分辨率 0.2μm 測量方法 反射型光柵尺 驅動速度 0.2mm/s\\\\1mm/a和手動 測量速度 0.02-5mm/s 測量方向 /向后 直線度 3.5μm /50mm 1.5μm/mm（當X軸在水平方向上 指示精度 （20℃） ±（3.5+2L/100）μm L為驅動長度（mm） 傾斜范圍 ±45°（CV-2000） Z1軸 測量范圍 25mm（CV-100）或40mm（CV-2000） 分辨率 0.4μm（CV-1000系列） 0.5μm（CV-2000系列） 測量方法 弧形編碼器 指示精度 （20℃） ±（3.5+14H/25）μm） H為水平位置上的測量高度（mm） 探針上下運作 弧形運動 探針方向 向下 測力 10-30mN 跟蹤角度 向上 77° 向下 87° 探針針尖 半徑 25μm 材料 硬質合金針尖 基座尺寸（WxH） 750x600mm（CV-2000） 基座材料 花崗巖（CV-2000） 重量 主機 5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4） 控制裝置 14kg 遙控箱 0.9kg 電源 100-240VAC±10% 50/60Hz 能耗 150W僅限主機
