檢測認證人脈交流通訊錄
電子顯微鏡，電鏡，進口電鏡，進口電子顯微鏡
- 主要規格：
- 電子顯微鏡，電鏡，進口電鏡，進口電子顯微鏡
- 用 途：
- 電子顯微鏡，電鏡，進口電鏡，進口電子顯微鏡
- 電子顯微鏡，電鏡，進口電鏡，進口電子顯微鏡
場發射掃描電鏡，鎢燈絲掃描電鏡
分辨率
高真空模式(二次電子)
低真空(背散射電子)
3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)
-
工作真空
高真空模式
低真空模式
＜9×10-3Pa
-
電子光學工作模式 分辨率/景深/視野/大視野/搖擺電子束
放大倍率 3x-1,000,000x
加速電壓 200V至30KV
電子槍 鎢燈絲
探針電流 1pA至2μA
掃描速度 從200ns/pixel至10ms/pixel,可逐步或連續調整
聚焦窗口 形狀、尺寸和位置連續可調
掃描特性 動態聚焦，點和線掃描，傾斜校正，3D Beam
圖象尺寸
可達8192×8192象素，可單獨調整為動態圖象（4種）和存檔的圖象（10種），圖象比例可選1：1、4：3或2：1
顯微鏡控制 通過計算機（鍵盤、鼠標、軌跡球）操作VEGA TC軟件，所以顯微鏡的功能均可在WindowsTM平臺下實現
自動程序 真空控制，燈絲加熱，電子槍合軸，掃描模式對中，加速電壓改變的補償，最優化束斑大小和探針電流，最優化放大倍率和束斑大小，掃描速度，亮度和對比度，聚焦和消像散，Look Up Table.
遠程控制 通過TCP/IP
樣品室
內部尺寸 300mm寬×330mm深
門寬 280mm寬×310mm深
接口數量 9個以上
樣品室減震方式 氣墊（可選配內置主動式氣墊減震）
樣品載臺
類型 全電腦化優中心
移動范圍 X=130mm —— 馬達驅動
Y=130mm ——馬達驅動
Z=100mm —— 馬達驅動
旋轉：360°連續可調——馬達驅動
傾斜：-20°到+80°——馬達驅動
樣品高度 最大143mm
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