檢測認證人脈交流通訊錄
- 功能
快速去除晶圓上之殘留光阻,達到晶圓表面潔凈,蝕刻率同業最高
特點
‧處理均勻性佳
‧離子能量低、不損傷基板
‧沒有電極及基板的污染
‧專利設計之特殊等離子電極
‧高密度等離子源
ˇ等離子效率高、清潔效率高
ˇ可控制低的離子能量
ˇ結合化學反應性及物理撞擊性
‧處理速度快、清潔效率高、可靠度高
‧操作范圍廣
‧可使用多種制程氣體
‧全自動且容易操作
‧設備穩定高,容易維護
‧可依客戶需求作更改
應用產業
‧殘余光阻去除
‧藍膜殘膠去除
‧PSS 來料清潔制程
馗鼎奈米科技股份有限公司
梁雅娟
- 地址:
- 臺灣省臺南市永康區中正路279巷21弄59號
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