檢測認證人脈交流通訊錄
- 類型 組分氣 稀釋氣 備注
硼化合物、磷化合物、砷化合物 乙硼烷（B2H6）、三氯化硼（BCl3）、溴化硼（BBr3)磷烷（PH3）、氯化磷（PCl3）、溴化磷（PBr3）砷烷（ASH3）、三氯化砷（ASCl3） 氦、氬、氫氦、氬、氫氦、氬、氫 具有P形性質具有N形性質
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