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CVD混合氣

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  • 半導體膜
    • 膜的種類 混合氣組成 生成方法 "  半導體膜         絕緣膜         導體膜" "  硅烷（SiH4）+氫   二氯二氫硅（SiH2Cl2）+氫   氯硅烷（SiCl4）+氫   硅烷（SiH4）+甲烷（CH4）   硅烷（SiH4）+氧   硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）   硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）+乙硼烷（B2H6）   硅烷（SiH4）+氧化亞氮（N2O）+磷烷（PH3）   六氟化鎢（WF6）+氫   六氟化鉬（MoCl6）+氫" "  CVD   CVD   CVD   離子注入CVD   CVD   CVD   CVD   離子注入CVD   CVD   CVD"

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