檢測認證人脈交流通訊錄
四氟化碳
- 用 途：
- 制冷、氣體絕緣、干蝕刻氣、氟化劑、表面處理劑、激光氣體泄漏檢驗劑
- 項目 指 標
四氟化碳純度， ％（V/V）≥ 99.999 99.995 99.99
氮氣含量， ppm（V/V）＜ 4 20 40
氧氣（氬）含量， ppm（V/V）＜ 1 5 10
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