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檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 應(yīng)用 LCD、CMOS、IC制程烘烤 特點 1.內(nèi)、中桶材質(zhì)采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼，外膛采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE) 2.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生PARTICLE 3.耐高溫濕日制HEPA FILTER(99.99%)，能有效過濾微塵而達(dá)到潔凈等級class100＃。 規(guī) 格 表 型 號 AHK-2 AHK-3 AHK-4 AHK-5 工作空間 600/500/600 600/500/900(2箱獨立) 700/1100/1000 1000/600/1000 外 尺 寸 W/D/H ㎜ 1060/1240/1550 1060/1240/1850 1270/1555/1830 1820/920/1950 電力 KVA 7.5 9 12 12 溫度范圍 60~200℃(300℃) 溫度系統(tǒng) Input: CA Sensor Output: SSR 均 勻 度 ±1.5%(空載測試) 進(jìn) 氣 量 N2 或 Clean Air MAX: 25 l/min 進(jìn) 氣 口 ￠6㎜ ￠6㎜ ￠6㎜ ￠12㎜ 排 氣 口 ￠3 ¨自動風(fēng)門 ￠5¨自動風(fēng)門 潔 凈 度 Class100#, FED-STD-2099潔凈等級標(biāo)準(zhǔn) 內(nèi)箱材質(zhì) SUS304＃鏡面不銹鋼 外箱材質(zhì) SST41＃鋼板經(jīng)防銹處理后高溫粉體烤漆 電 熱 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發(fā)生器 配 備 HEPA Filter 、壓差計、流量計
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