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無塵潔凈烤箱

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  • 品  牌:
  • 主要規格:
  • AHK系列
  • 用  途:
  • 應用 LCD、CMOS、IC制程烘烤
    • 應用 LCD、CMOS、IC制程烘烤 特點 1.內、中桶材質采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,外膛采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE) 2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生PARTICLE 3.耐高溫濕日制HEPA FILTER(99.99%),能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#。 規 格 表 型   號 AHK-2 AHK-3 AHK-4 AHK-5 工作空間 600/500/600 600/500/900(2箱獨立) 700/1100/1000 1000/600/1000 外 尺 寸 W/D/H ㎜ 1060/1240/1550 1060/1240/1850 1270/1555/1830 1820/920/1950 電力 KVA 7.5 9 12 12 溫度范圍 60~200℃(300℃) 溫度系統 Input: CA Sensor Output: SSR 均 勻 度 ±1.5%(空載測試) 進 氣 量 N2 或 Clean Air MAX: 25 l/min 進 氣 口 ¢6㎜ ¢6㎜ ¢6㎜ ¢12㎜ 排 氣 口 ¢3 ¨自動風門 ¢5¨自動風門 潔 凈 度 Class100#, FED-STD-2099潔凈等級標準 內箱材質 SUS304#鏡面不銹鋼 外箱材質 SST41#鋼板經防銹處理后高溫粉體烤漆 電  熱 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器 配  備 HEPA Filter 、壓差計、流量計

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