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檢測認證人脈交流通訊錄
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應用 LCD、CMOS、IC制程烘烤
特點 1.內、中桶材質采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼，外膛采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE)
2.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生PARTICLE
3.耐高溫濕日制HEPA FILTER(99.99%)，能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100＃。
規 格 表
型 號 AHK-2 AHK-3 AHK-4 AHK-5
工作空間 600/500/600 600/500/900(2箱獨立) 700/1100/1000 1000/600/1000
外 尺 寸
W/D/H ㎜ 1060/1240/1550 1060/1240/1850 1270/1555/1830 1820/920/1950
電力
KVA 7.5 9 12 12
溫度范圍 60~200℃(300℃)
溫度系統 Input: CA Sensor Output: SSR
均 勻 度 ±1.5%(空載測試)
進 氣 量 N2 或 Clean Air MAX: 25 l/min
進 氣 口 ￠6㎜ ￠6㎜ ￠6㎜ ￠12㎜
排 氣 口 ￠3 ¨自動風門 ￠5¨自動風門
潔 凈 度 Class100#, FED-STD-2099潔凈等級標準
內箱材質 SUS304＃鏡面不銹鋼
外箱材質 SST41＃鋼板經防銹處理后高溫粉體烤漆
電 熱 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器
配 備 HEPA Filter 、壓差計、流量計
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