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光譜系統(tǒng) PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器

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    •  光電測量產品 >> 光譜系統(tǒng) >> PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器　PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器測量用等離子體的發(fā)射可在僅3毫秒內達到200～1100nm的波長。PlasCals系列監(jiān)控器為數(shù)據(jù)的獲取提供高級過程控制和精密的數(shù)據(jù)運算。　功能特點1.0nm（半最大值全波）光學解析度200～1100nm波長范圍快速建立和保存實驗方法調制步驟編輯調制步驟編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數(shù)復雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設置：例如測量薄膜沉積情況、監(jiān)測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測反常的污染和排放現(xiàn)象等。用于簡單的等離子體診斷的多重工具PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數(shù)學和算能。我們同時提供一個可選配的放射波長數(shù)據(jù)庫，可以另外單獨購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個窗口，可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。PlasCalc型監(jiān)控器的規(guī)格光譜范圍200～1100nm光學解析度1.0nm（半最大值全波）數(shù)字/模擬轉換器14 bit數(shù)字輸入/輸出8 x TTL模擬輸出4 x [0-10V]連接方式USB 1.1USB 1.1電力消耗12V直流電，1.25A電力需求90～240V交流電，50/60Hz尺寸257 mm x 152 mm x 263 mm重量5 kg

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