檢測認證人脈交流通訊錄
- DEKTAK 150探針輪廓儀 測量重復性 6Å 掃描長度 50μm-55mm 單次掃描最大數據點 120,000個 允許樣品最大高度 100mm (根據配置不同會有所變化) 垂直范圍量程 524μm (1mm選配) 最高垂直分辨率 1 Å (6.55μm量程范圍下) 樣品臺 150mm，X-Y-θ手動調節 探針壓力范圍 1-15mg (0.03mg選配) Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的最新型探針式表面輪廓儀(臺階儀)產品，主要應用于薄膜厚度測量、樣品表面形貌測量、薄膜應力測量、樣品表面粗糙度/波紋度測量、以及樣品表面三維形貌測量等眾多領域。 Dektak 150集四十余年的技術積累和創新于一身，為滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度，并降低了地板噪音對測量的干擾?；赪indows XP的Dektak隨機配備軟件系統界面友好，為用戶提供了完善的分析功能?！耙绘I式”操作方式使得測量工作簡單易行。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地擴充儀器的功能。
