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檢測認證人脈交流通訊錄
- AB25-25龍門式空氣軸承平臺
龍門式空氣軸承
X向雙直線電機同步驅動
全花崗巖結構
空氣軸承整體優化設計
高速、高精度光柵反饋裝置
技術指標
設計行程：250mmX250mm
系統分辨率：0.1或0.05微米
重復定位精度：0.5微米
最大運行速度：800mm/s
最大運行加速度：1.5G
負載能力：3Kg
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