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檢測認證人脈交流通訊錄
- 光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列光纖激光尺配置高穩定氦氖激光光源，激光通過保偏光纖引導，用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差。可根據用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復雜場景應用。
核心優勢
1. 高精度
（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。
（2）環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長期穩定。
2. 靈活配置
（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現多自由度測量。
（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。
3. 高穩定性與便捷性
（1）激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。
（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。
4. 廣泛適用性
大量程4米（可拓展），支持動態速度達2m/s，覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。
典型應用場景
半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。
航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。
精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量。
科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制。
深圳市中圖儀器科技有限公司
羅健
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- 深圳市南山區西麗學苑大道1001號智園B1棟二樓
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