檢測認證人脈交流通訊錄
普瑞八氟環戊烯分析氣相色譜儀氦離子化氣相色譜分析儀
- 用 途:
- 本儀器為八氟環戊烯(C?F?)電子特氣專用氦離子化氣相色譜分析儀,基于普瑞 GC?9280 氣相色譜平臺開發,配套專用閥系統、預切割色譜柱與 PDHID 氦離子化檢測器,利用中心切割反吹技術規避高濃度八氟環戊烯基體過載干擾,可一次性檢測樣品中無機雜質與氟碳類雜質,檢出限可達 ppb 級別,滿足 T/DLSHXH 013?2024 電子氣體八氟環戊烯檢測要求。系統全氣路做內壁拋光鈍化處理,配置吹掃型無死體積氣動隔膜閥,杜絕空氣滲入;搭載 LAN 網絡化工作站,支持序列自動運行、儀器反控,可 24 小時連續作
- 本儀器為八氟環戊烯(C?F?)電子特氣專用氦離子化氣相色譜分析儀,基于普瑞 GC?9280 氣相色譜平臺開發,配套專用閥系統、預切割色譜柱與 PDHID 氦離子化檢測器,利用中心切割反吹技術規避高濃度八氟環戊烯基體過載干擾,可一次性檢測樣品中無機雜質與氟碳類雜質,檢出限可達 ppb 級別,滿足 T/DLSHXH 013?2024 電子氣體八氟環戊烯檢測要求。系統全氣路做內壁拋光鈍化處理,配置吹掃型無死體積氣動隔膜閥,杜絕空氣滲入;搭載 LAN 網絡化工作站,支持序列自動運行、儀器反控,可 24 小時連續作業,廣泛應用于半導體電子特氣生產企業、質檢機構、科研實驗室。
9280cib.jpg
GC-9280型氦離子化氣相色譜儀分析系統,專為含氟電子氣體雜質檢測設計,配備脈沖氦離子檢測器,符合GB/T 28726-2012和JJG700-2016標準,可檢測多種氣體雜質,檢測限低至ppb級。該系統具備完善的柱溫箱和數據處理系統,并提供在線診斷和早期維護預警功能,適用于氣體中微量雜質的分析。
1.儀器特點:
?氣體行業專業色譜技術成套解決方案
?采用VICI原裝進口帶He吹掃保護功能的高性能切換閥控制氣路
?具備氣路故障自動保護、自動點火/熄火自動重燃、一鍵啟動功能;
?采用10/100M自適應以太網通信接口,內置IP協議棧,支持遠程訪問與控制。
?分析流程全部采用Valco公司惰性化處理管路與專用鍍金接頭
?系統具備多閥多柱的中心切割與反吹技術,由多個原裝進樣閥和多根VCR色譜柱聯合組成。
?中心切割閥系統采用原裝高性能切換閥、原裝EP級高純氣體惰性化處理管路,自動進樣、自動切割;閥系統和柱系統配備密閉和載氣快速放空功能。
?色譜柱系統連接接頭VCR密封接頭,不僅方便連接,而且具有更好的密封性和無泄漏性,真實的保證PPb級別的檢出限。
?多柱箱的應用,使色譜分析柱可以單獨控溫,且可增加冷阱,得到更好的分離度。
?寬量程的PDHID放大電路采用對數放大器,具有更寬的線性檢測范圍,分解產物檢測指標能夠檢測至μg/g(ppb)級。
?大容量的安裝位置可同時安裝4個進樣口,4個檢測器。可擴展檢測器FID、TCD、FPD、NPD、ECD、ZD、AID、EPD、PID、PDHID等任選。
?帶有溫度補償的APC控制器具有更高的重現性和穩定性,操作方便高效;
?安全保護功能:具有氣路故障自動保護、超溫保護、斷氣保護、熄火自動重燃等功能。
部件介紹
1)雙級純化器系統(PDHID氣路純化器配置):
前級純化+內置純化(非吸附性純化器,對于載氣中 H2、O2、N2、 CH4、CO、CO2雜質純化后濃度低于10ppb)
純化器Valco 氦氣(HP)純化器的純化基質是一種無揮發性的吸附性合金,吸附劑粒子表面有一層 氧化膜需通過加熱活化,活化過程必須在真空或惰性氣體環境下完成,這樣可允許氦氣在其間自由擴散, 防止氧氣純化層的形成,又可以進行雜質氣體的吸 附。HP 的吸附劑材料具有良好的熱穩定性,包括兩 個溫度控制范圍。 純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
最大操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等
殘留濃度:≤10ppb
2)多柱箱的設置
對大部分的應用使用獨立控溫的微柱箱。一個微柱箱最多可以安裝2 根色譜柱,而微柱箱的裝卸是非常簡單 的,只要把固定的4個螺絲取出或固定就可以了。微柱箱是GC獨立控制的,所以溫控效果會非常好,柱箱和柱箱直接沒有干擾。微柱箱的控溫效果要明顯優于大柱箱的效果
3)氣相色譜儀進樣閥
VALCO 吹掃型轉子閥
吹掃型十通/六通閥,閥平面始終處于載氣的氛圍中,切換時無空氣滲漏而混入樣品之中。
無死體積取樣閥,將取樣過程對分析的影響降至最低的水平,取樣時采用帶吹掃保護的進樣方式,有效的避免了空氣混入的問題。
2.技術指標
a.操作顯示:7寸彩色液晶觸摸屏
b.溫控區域:8路
c.柱箱溫控范圍:室溫以上4℃~450℃,控溫精度≤±0.01℃,增量1℃。
d.程序升溫階數:16階
e.程升速率:0.1~80℃/min
f.降溫速度:450℃降至50℃ ≤7分鐘。
g.外部事件:8路;
h.進樣器種類:填充柱進樣、毛細管進樣、六通閥氣體進樣、自動進樣器
i.啟動進樣:手動、自動可選
j.通信接口:以太網:IEEE802.3
k.放電離子化檢測器(PDHID)
脈沖放電氦離子化檢測器(PDHID)是一種靈敏度極高的通用型檢測器,對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應,特別適合高純氣體的分析。
脈沖放電模式;
基線噪聲≤0.1mV;
基線漂移≤0.5mV/30min。
檢測限(以甲烷計):≤5 ppb或≤1.0×10-10g/ml。
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