檢測認證人脈交流通訊錄
韓國MAT尾氣處理設備(Scrubber)適用于：非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導體、微電子等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中產生的廢氣. 處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。主要有以下優點：1.整機設計美觀,安全標準。2.擁有處理量特大﹑效率高﹑及長時間運轉。3.操作容易上手、保養簡單快速、零料件經久耐用，性價比高4.燃燒反應室可定時自動清潔,長時間運轉效率穩定。
