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質量流量控制系統DGS03

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  • 主要用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量
    • DGS03質量流量控制系統主要用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：微電子工藝設備、，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。系統默認配置為： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：數字。 ∮主要技術參數： 流量規格(N2) （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10，20，30）SLM 準確度 ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) 線性 ±0. 5% F.S. 重復精度 ±0.2% F.S. 工作壓差范圍（＜0.02MPa） 0.05~0.35Mpa 流量規格≤10SLM 0.1~0.35Mpa 流量規格＞10SLM 溫度系數 零點：≤±0.05FS/℃; 調節時:≤±0.1FS/℃ 耐壓 3MPa 響應時間 ≤2sec 漏率 1×10-10pa.m3/sec He 密封材料 氟橡膠; 氯丁橡膠 工作環境溫度 (5~45) ℃

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