檢測認證人脈交流通訊錄
桑以SinEL185準分子燈輻照計185nm紫外輻照檢測儀半導體光刻工藝專用
- 主要規格:
- 主機(長146mm?寬87mm?高35mm)
- 用 途:
- 用于半導體制造、表面處理、醫用光療及深紫外消毒設備的光源性能驗證、在線監測與過程控制。
- 一、核心性能 Core Performance
1.超寬動態范圍
功率量程:0.01μW/cm2~1300mW/cm2,根據光源強弱自動切換單位
實現弱光強光一機測試,適應窄帶、寬帶以及波長跨幅大的應用場景
2.工業級精度與速度
功率/能量誤差:±3%
2048次/秒高速采樣+0.1秒屏幕刷新,可測瞬時脈沖光源
3.智能交互設計
4.3英寸電容觸屏,3分鐘無操作自動關機,支持中英文雙語操作
內置計時器精準計時,可保存30組數據,支持PC軟件讀取數據并導出報告
4.多場景適應性
多探頭適配同一主機可根據不同光源搭配不同受光器
可多點測量,兩種模式(常規模式、均勻度模式)隨意切換
二、產品參數 Product Parameters
表1 主機參數
參數項
參數值
型號系列
SinEL
功率量程
0.01μW/cm2-1300mW/cm2(根據光源強弱自動切換單位)
能量量程
0.01μJ/cm2~999999999.99 mJ/cm2
功率單位
μW/cm2、mW/cm2、W/cm2、W/m2(可自動/手動切換)
量程變化量
10億
功率/能量誤差
±3%
分辨率
0.01
溫度測量范圍
-55℃~125℃
溫度誤差
±0.5℃
響應速度
2048次/秒
屏幕刷新速度
0.1秒
操作方式
觸屏
屏幕顯示
4.3inch電容觸摸屏
電池
3200mAh鋰電池,持續續航約12小時
自動關機
3分鐘無感應或無操作自動關機(充電狀態下不生效)
操作提示音
有/可關閉
使用環境
-20℃~60℃,濕度小于85%,無凝露
語言
繁體中文、English
尺寸
主機(長146mm*寬87mm*高35mm)
模式選擇
常規模式、均勻度模式
通訊方式
USB
校驗周期
建議校驗周期為一年
可選配件
電腦監控軟件
表2探頭參數
外形尺寸
圓形,直徑φ38mm,厚度14mm
感光孔徑
Φ4mm
線纜規格
標準線長1m(如需延長可定制)
工作溫度范圍
-20℃~120℃(寬溫補償,確保極端環境下測量穩定性)
外殼材料
航空級鋁合金,表面陽極氧化處理,抗UV老化
精準溯源
全系探頭支持CNAS可溯源校準
表3 探頭型號表
型號
波長范圍
應用場景
EL172
165-340nm
(λ:172nm)
表面光清洗與改性:172nm高能量光子直接裂解材料表面的有機污染物,提升晶圓、液晶面板等元件的附著力與良率。
EL185
165-340nm
(λ:185nm)
表面光清洗與改性:185nm高能量光子直接裂解材料表面的有機污染物,提升晶圓、液晶面板等元件的附著力與良率。
EL222
165-340nm
(λ:222nm)
人機共存殺菌:222nm能有效滅活細菌病毒,同時因其穿透深度極淺,對人體皮膚和眼睛的潛在危害遠小于傳統254nm紫外光,適用于有人的動態空間消毒。
三、配置清單 Configuration List
序號
品名
數量
備注
1
儀器主機
1
2
感應探頭
1
可選
3
USB充電線
1
4
說明書
1
5
合格證
1
6
保修卡
1
7
便攜箱
1
8
電腦監控軟件
1
可選
四、服務 Service
?保修?:產品自出廠之日起,正常使用條件下非人為損壞,提供一年免費保修服務
供應商信息?:江西省弦光科技有限公司
業務范圍:紫外輻射測量儀器研發、生產及定制化解決方案。
增值服務:支持探頭量程、線纜長度、接口類型的非標定制(需提前咨詢)
技術支持與服務
電話:0791-85999896
手機/微信:15270809739(江女士,微信同號)
?網址?:www.sinabc.com提供文檔下載、在線咨詢服務
更多品牌及產品信息詳情見SinABC官方微信公眾號:SinABC桑以
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