檢測認證人脈交流通訊錄
- 小型滑軌式PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
滑軌式PECVD加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。
1、加熱系統
最高溫度
1200℃
使用溫度
≤1100℃
爐膛有效尺寸
Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)
爐膛材料
氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型
K型熱電偶
控溫精度
±1℃
控溫方式
30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7”工控電腦,內置PLC控制程序。
加熱長度
230mm
恒溫長度
100mm
加熱原件
電阻絲
供電電源
單相,220V,50Hz
2、PE射頻電源
功率輸出范圍
0W~500W
最大反射功率
100W
射頻輸出接口
50 Ω, N-type, female
功率穩定度
≤5W
諧波分量
≤-50dbc
供電電壓
單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
整機效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷卻方式
強制風冷
3、三路質子流量控制系統
連接頭類型
雙卡套不銹鋼接頭
標準量程(N2)
50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)
準確度
±1.5%F.S
線性
±1%F.S
重復精度
±0.2%F.S
響應時間
氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍
0.1~0.5 MPa
最大壓力
3MPa
接口
Φ6,1/4''
顯示
4位數字顯示
工作環境溫度
5~45高純氣體
壓力真空表
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥
Φ6
內外雙拋不銹鋼管
Φ6
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