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全自動磁控濺射系統安全聯鎖功能

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    •   NSC-3000(A)全自動磁控濺射系統概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達6"旋轉平臺,支持到3個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7Torr,15分鐘內可以達到10-6Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。   NSC-3000(A)帶有14”立方形鋁質腔體,3個2”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。在選配方面,我們提供不銹鋼腔體,260l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。   NSC-3000(A)全自動磁控濺射系統產品特點:   不銹鋼,鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃   70或250l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵   13.56MHz,300-600WRF射頻電源以及1KWDC直流電源   晶振夾具具有的<1?的厚度分辨率   帶觀察視窗的腔門易于上下載片   基于LabView軟件的PC計算機控制   帶密碼保護功能的多級訪問控制   *的安全聯鎖功能   預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片   全自動磁控濺射系統如有需要歡迎訪問以下網址與我們取得聯系   http://www.nanochina17.com/NChina-Products-21818350/   https://www.chem17.com/st312447/product_21818350.html

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