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美國(guó)Laurell勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)
- Laurell-650鈣鈦礦太陽(yáng)能電池勻膠機(jī)行業(yè)內(nèi)Laurell勻膠機(jī)/SpinCoater,從1985年開始,30多年,用戶過百萬!應(yīng)用于鈣鈦礦太陽(yáng)能電池薄膜制備,現(xiàn)當(dāng)前型號(hào)WS-650-23B勻膠機(jī),在許多實(shí)驗(yàn)室可找到!洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院(EPFL)MichaelGr?tzel教授課題組使用的就是Laurell勻膠機(jī)WS-650-23N。
Laurell-650鈣鈦礦太陽(yáng)能電池勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
1、穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可保證膠厚度的一致性和均勻性;
2、轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)穩(wěn)定,美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過;
3、采用PLC控制,速度可調(diào)節(jié),在啟動(dòng)之后一般工藝先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)使膠攤開,然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn),步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào);
4、數(shù)據(jù)模擬:勻膠實(shí)驗(yàn)時(shí)將一組設(shè)定的涂膠速度和時(shí)長(zhǎng)數(shù)值輸入系統(tǒng),系統(tǒng)會(huì)據(jù)此計(jì)算出速度設(shè)定方案,帶有速度隨時(shí)間變化的曲線;
5、數(shù)據(jù)記錄:為了提高實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性,設(shè)備會(huì)在數(shù)據(jù)記錄模式下,實(shí)時(shí)記錄下前一次工藝過程的實(shí)驗(yàn)實(shí)際值,并將該組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并重復(fù)調(diào)用,達(dá)到一致的可重復(fù)性;
6、NPP材質(zhì)耐腐蝕及抗震;
一、勻膠機(jī)性能指標(biāo):
1、腔體尺寸:9.5英寸(241毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm;
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec(空載);
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差<±1%;
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性<0.2rpm;
7、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9sec/step0.1精度;
8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
10、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且不用校準(zhǔn)!]
12、配套真空泵系統(tǒng):無油型220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、原裝進(jìn)口水平測(cè)試儀。
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