襄都區(qū)采潤(rùn)機(jī)械設(shè)備店

臺(tái)階儀的掃描長(zhǎng)度范圍

　　一、探針式輪廓儀/臺(tái)階儀產(chǎn)品參數(shù)：　　1.測(cè)量功能：二維表面輪廓測(cè)量/可選三維測(cè)量　　2.樣品視景：可選放大倍率，1to4mmFOV 　　3.探針壓力：使用LIS3傳感器1至15mg 　　4.低作用力：使用N-Lite+低作用力傳感器:0.03至15mg 　　5.探針曲率半徑可選范圍:50nm至25um 　　6.高徑比(HAR)針尖:10umx2um和200umx20um可按客戶要求定制針尖　　7.樣品X/Y載物臺(tái)：　　手動(dòng)X-Y平移：100mm(4英寸）　　機(jī)動(dòng)X-Y平移：150mm(6英寸) 　　8.樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)：手動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn)機(jī)動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn) 　　9.掃描長(zhǎng)度范圍：55mm(2英寸) 　　二、探針式輪廓儀/臺(tái)階儀技術(shù)優(yōu)勢(shì)：　　1.每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)：最多可達(dá)120.000數(shù)據(jù)點(diǎn) 　　2.最大樣品厚度：50mm(2英寸) 　　3.最大晶圓尺寸：200mm(8英寸) 　　4臺(tái)階高度重現(xiàn)性：<4A，1sigma在1um臺(tái)階上　　5.垂直范圍：1mm(0.039英寸) 　　6.垂直分辨率：最大1A(6.55um垂直范圍下) 　　臺(tái)階儀如有需要?dú)g迎訪問(wèn)以下網(wǎng)址與我們?nèi)〉寐?lián)系　　http://www.vector-tek.cn/Products-37700020.html 　　https://www.chem17.com/st545869/product_37700020.html

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