檢測認證人脈交流通訊錄
- 一、探針式輪廓儀/臺階儀產品參數：
1.測量功能：二維表面輪廓測量/可選三維測量
2.樣品視景：可選放大倍率，1to4mmFOV
3.探針壓力：使用LIS3傳感器1至15mg
4.低作用力：使用N-Lite+低作用力傳感器:0.03至15mg
5.探針曲率半徑可選范圍:50nm至25um
6.高徑比(HAR)針尖:10umx2um和200umx20um可按客戶要求定制針尖
7.樣品X/Y載物臺：
手動X-Y平移：100mm(4英寸）
機動X-Y平移：150mm(6英寸)
8.樣品旋轉臺：手動，360°旋轉機動，360°旋轉
9.掃描長度范圍：55mm(2英寸)
二、探針式輪廓儀/臺階儀技術優勢：
1.每次掃描數據點：最多可達120.000數據點
2.最大樣品厚度：50mm(2英寸)
3.最大晶圓尺寸：200mm(8英寸)
4臺階高度重現性：<4A，1sigma在1um臺階上
5.垂直范圍：1mm(0.039英寸)
6.垂直分辨率：最大1A(6.55um垂直范圍下)
臺階儀如有需要歡迎訪問以下網址與我們取得聯系
http://www.vector-tek.cn/Products-37700020.html
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