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多模組三維光學(xué)輪廓儀

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  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 　　多模組三維光學(xué)輪廓儀 　　標(biāo)配ZDot技術(shù)，可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。強(qiáng)大的成像測(cè)量功能，使其能夠?qū)Ω鞣N樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理等。 　　納米及微米級(jí)臺(tái)階測(cè)量 　　粗糙度分析 　　薄膜厚度測(cè)量 　　三維輪廓測(cè)量 　　全表面缺陷測(cè)量及分類 　　特征圖形全自動(dòng)偵測(cè)與表征 　　高深寬比表面輪廓成像 　　True color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像 　　基礎(chǔ)模塊 　　橫向準(zhǔn)確度＜1% 　　彩色CCD：2/3”，2448×2048 　　水平分辨率：54nm 　　可測(cè)高度：40mm 　　Z軸分辨率：13nm/2nm 　　光源：高亮度LED 　　自動(dòng)XY載臺(tái)150×150mm 　　樣品反射率：0.5%~100 　　測(cè)試系統(tǒng)選項(xiàng) 　　標(biāo)準(zhǔn)物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150× 　　特殊物鏡：長(zhǎng)工作距離，浸沒(méi)物鏡，TTM物鏡 　　ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5?分辨率，0.1nm臺(tái)階高度測(cè)試） 　　載臺(tái)與卡盤(pán)選項(xiàng) 　　手動(dòng)100mm×100mm或300mm×300mm載臺(tái) 　　自動(dòng)150mm×150mm或180mmx200mm載臺(tái) 　　壓電陶瓷載臺(tái)（2nm閉環(huán)精度，200?m工作距離） 　　高精度傾斜載臺(tái) 　　手動(dòng)旋轉(zhuǎn)載臺(tái) 　　卡盤(pán)：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盤(pán)等，可定制 　　https://www.chem17.com/st593869/erlist_2468793.html 　　https://www.chem17.com/st593869/product_37919968.html
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