濟南震旭電子科技有限公司

多模組三維光學(xué)輪廓儀

　　多模組三維光學(xué)輪廓儀　　標配ZDot技術(shù)，可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。強大的成像測量功能，使其能夠?qū)Ω鞣N樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理等。　　納米及微米級臺階測量　　粗糙度分析　　薄膜厚度測量　　三維輪廓測量　　全表面缺陷測量及分類　　特征圖形全自動偵測與表征　　高深寬比表面輪廓成像　　True color（真彩）無限遠焦點圖像　　基礎(chǔ)模塊　　橫向準確度＜1% 　　彩色CCD：2/3”，2448×2048 　　水平分辨率：54nm 　　可測高度：40mm 　　Z軸分辨率：13nm/2nm 　　光源：高亮度LED 　　自動XY載臺150×150mm 　　樣品反射率：0.5%~100 　　測試系統(tǒng)選項　　標準物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150× 　　特殊物鏡：長工作距離，浸沒物鏡，TTM物鏡　　ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5?分辨率，0.1nm臺階高度測試）　　載臺與卡盤選項　　手動100mm×100mm或300mm×300mm載臺　　自動150mm×150mm或180mmx200mm載臺　　壓電陶瓷載臺（2nm閉環(huán)精度，200?m工作距離）　　高精度傾斜載臺　　手動旋轉(zhuǎn)載臺　　卡盤：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盤等，可定制　　https://www.chem17.com/st593869/erlist_2468793.html 　　https://www.chem17.com/st593869/product_37919968.html

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