檢測認證人脈交流通訊錄
半導體濕法蝕刻PFA顯影花籃耐強酸PFA晶圓盒低本底值
- PFA花籃
PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍 ，特氟龍卡匣 ， 特氟龍晶舟盒 ，特氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。
主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進入化學酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、參數
名稱 規格 耐溫性 應用
PFA花籃
PP Cassette
2寸 -200~260℃ 酸堿傳輸制程
4寸
6寸
三、特點
1.耐腐蝕：耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染
7.化學性能穩定
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