檢測認證人脈交流通訊錄
- 一、自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀的功能
通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及光學變焦相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可支持2D或3D測量。 圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。
設備特點
臺階高度：幾納米至1000μm 微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
軟件：簡單易用的軟件界面 生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化
主要應用
臺階高度：2D和3D臺階高度 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲和形狀 應力：2D和3D薄膜應力
缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業應用
半導體和化合物半導體 LED：發光二極管
太陽能 MEMS：微機電系統
數據存儲 汽車
圓探針式臺階儀產品來源：
https://www.chem17.com/st125795/erlist_2338024.html
http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html
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