檢測認證人脈交流通訊錄
- 晶圓探針式輪廓儀/臺階儀設備特點：
臺階高度：幾納米至1000um 微力恒力控制：0.03mg至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
圓弧矯正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
生產能力：通過測序，模式識別和SECS/GEM實現全自動化
主要應用： 薄膜/厚膜臺階
刻蝕深度測量 光阻/光刻膠臺階
柔性薄膜 表面粗糙度/波紋度表征
表面曲率和輪廓分析 薄膜的2DStress量測
表面結構分析 表面3D輪廓成像
缺陷表征和分析 其他多種表面分析功能
三、應用案例
臺階高度 P-7可以提供納米級到1000μm的2D和3D臺階高度的測量。 這使其能夠量化在蝕刻，濺射，SIMS，沉積，旋涂，CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-7具有恒力控制功能，無論臺階高度如何都可以動態調整并施加相同的微力。這保證了良好的測量穩定性并且能夠測量諸如光刻膠的軟性材料。
晶圓探針式輪廓儀產品來源：
http://www.natengyiqi.com/Products-36785623.html
https://www.chem17.com/st125795/product_36785623.html
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