檢測認證人脈交流通訊錄
- 快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源，通過j快的升溫速率，將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃，從而消除晶圓或者材料內部的一些缺陷，改善產品性能。
采用先進的微電腦控制系統，采用PID閉環控制溫度，可以達到*的控溫精度和溫度均勻性，并且可配置真空腔體，也可根據用戶工藝需求配置多路氣體。
應用領域：
1.快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN);
2.離子注入/接觸退火;
3.金屬合金;
4.熱氧化處理;
5.化合物合金(砷化鎵、氮化物等);
6.多晶硅退火;
7.太陽能電池片退火;
8.高溫退火;
9.高溫擴散。
快速退火爐主要由真空腔室、加熱室、進氣系統、真空系統、溫度控制系統、氣冷系統、水冷系統等幾部分組成。
真空腔室:真空腔室的工作空間，晶圓在這里進行快速熱處理。
加熱室:加熱室以多個紅外燈管為加熱元件，以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。
進氣系統:真空腔室尾部有進氣孔，精確控制的進氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求。
真空系統:在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥，可以有效確保腔室真空度，同時避免氣體倒灌污染腔室內的被處理工件。
溫度控制系統:溫度控制系統由溫度傳感器、溫度控制器、電力調整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。
氣冷系統:真空腔室的冷卻是通過進氣系統向腔室內充入惰性氣體，來加速冷卻被熱處理的工件，滿足工藝使用要求。
水冷系統:水冷系統主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。
更多詳情請前往：
https://www.hbzhan.com/st641112/product_21714785.html
http://www.qianwangkj.com/Products-21714785.html
主站蜘蛛池模板：
精品少妇在线视频|
国产精品免费网站|
国产精品亚洲视频在线观看|
久久精品在线免费视频|
国产欧美日韩综合精品|
欧美二区在线看|
亚洲爆乳无码专区|
日韩国产高清一区|
色综合久久av|
久久久天堂国产精品女人|
国产精品专区在线|
91精品国产91久久久久久久久|
精品国产中文字幕|
91久久国产综合久久91精品网站|
国产日韩视频在线观看|
久久riav二区三区|
久久久国产精品一区|
亚洲综合在线中文字幕|
欧美一级电影久久|
丰满少妇久久久|
视频在线一区二区|
国产精品九九九|
色妞在线综合亚洲欧美|
欧美一区二视频在线免费观看|
国产精品久久久久久久久久久久午夜片|
蜜桃av噜噜一区二区三区|
欧美激情中文字幕在线|
国产日韩第一页v|
日韩欧美一区二区视频在线播放V|
久久超碰亚洲|
日本黄网免费一区二区精品|
久久亚洲国产精品日日av夜夜|
国产精品免费福利|
日韩人妻一区二区三区蜜桃视频|
精品少妇人妻av一区二区
|
亚洲午夜精品一区二区|
免费影院在线观看一区|
精品久久久久亚洲|
久久精品人人做人人爽|
国内自拍中文字幕|
在线一区日本视频|
